授業科目名 年度 学期 開講曜日・時限 学部・研究科 全担当教員 単位数
34175:マイクロマシン(5X) 2024 春セメスター 月5 理工学部 鈴木 健一郎 2

キャンパス

BKC

授業施設

コラーニングⅠ　１０５号教室

授業で利用する言語

日本語

授業の概要と方法

マイクロ機械工学の先端的研究の現状を紹介し，各分野における重要課題や研究開発の動向，あるいは，各分野の発展のもととなる基礎的知識を述べ、その基礎となる理論を体系的に講義する。
 
授業は、各テーマごとに配布したレジメに沿って進行する。また、適宜に関連技術の紹介を行う。毎回のテーマについて受講生が積極的に調査することを期待する。

今年度はレジメ資料をwebに掲示する。学生にはレポート課題の提出が複数回要求されるので、期限内に提出するように注意してください。

講義は基本的に対面授業の形態にて行う。WEB授業に変更になった場合には，適宜，manaba+Rにて周知する。授業内容の理解を円滑に繋げるために授業には継続して出席することを推奨する。

受講生の到達目標

講義では、マイクロ機械システム工学の先端的研究の現状紹介と基礎原理の解説を行う。

マイクロシステムの具体的事例の基礎を理解するには、今まで大学で学んだほぼすべての知識を網羅することが必要である。技術の基礎が理解できるようになるとその将来の発展を予想できるようになり，これがやがて時代や社会に対するいっそう深い理解へとつながっていく。

この経験が各々学生諸君の卒業後の活動に役立つことを期待する。特に、今後発展させるべき技術や研究開発すべき課題について自らの考えを形成できる事を目標とする．

事前に履修しておくことが望まれる科目

３回生までに配当される専門科目および基礎専門科目
必須ではありませんが、特にセンサ工学は重要です。

授業スケジュール

授業回数/
担当教員（複数担当の場合） 		テーマ
キーワード・文献・補足事項等
1

ガイダンス（基本は対面授業）

対面授業を基本とする．WEBに変更になる場合には掲示板にて知らせる．

2

加速度センサ(1)

MEMS加工技術、シリコン材料力学

3

加速度センサ(2)

容量検出回路、分解能、ノイズ

4

振動工学の基礎

共振現象、フーリエ解析

5

MEMSジャイロスコープ(1)

二次元振動モデル、コリオリ力

6

MEMSジャイロスコープ(2)

クロスカップリング、ダンピング

7

MEMS共振器(1)

MEMS作製方法

8

MEMS共振器(2)

BVDモデル、峡ギャップ効果

9

高周波工学の基礎(1)

交流回路理論、フェーズ表示

10

高周波工学の基礎(2)

分布定数回路、反射係数

11

高周波工学の基礎(3)

Sパラメータ

12

MEMSスイッチ

プルイン電圧、リリース電圧

13

MEMSフィルタ

ローパスフィルタ、表面張力

14

MEMSアンテナ(1)

フェイズドアレイアンテナ、ミリ波レーダ

15

MEMSアンテナ(2)

移相器、車載用自動運転システム 、未来技術

授業実施形態

全１５回対面講義を基本とするが、７回以内のメディアによる講義も行う。

授業外学習の指示

広範な知識を駆使したマイクロシステムの具体例に触れることになる。授業に積極的に参加し、勉学に接触的に取り組むことを期待する。また、未来技術に関心を寄せて、自分の将来の仕事と関連付けて社会的課題やこれを解決する未来技術を積極的に調査することを望む。

成績評価方法

種別 割合(%) 評価基準等
定期試験（筆記） 0

レポート試験
（統一締切日を締切とするレポート）		 0

上記以外の試験・レポート、平常点評価
（日常的な授業における取組状況の評価）		 100

授業出席，およびレポート課題を中心に評価する。

成績評価方法(備考)

授業出席の他に数回のレポート課題を期限内に提出することを要求する。出席と提出されたレポート課題の内容をもとに成績評価を行う。
授業出席については，感染状況を考慮して変更する場合には，適宜掲示板等で注意する．また，正当な理由があって出席できないときには，鈴木(ksuzuki@se.ritsumei.ac.jp)まで直接に連絡をいただければ，内容により考慮する場合がある．

受講および研究に関するアドバイス

本授業は、大学で学んだ知識をほぼすべて網羅した内容をもっており、いままで学んだ知識の整理とその使い方の具体例を知ることができる。内容が豊富であり、また社会の先端のものを対象とするために、授業の理解が深まるにつれて、受講生が科学技術と社会に一層の好奇心を湧き立てることになるだろうと思う。

今年度はウェブにレポート課題が適宜掲示される。学生は期限内にこれらレポート課題を提出することが要求される。

教科書

教科書(使用頻度、その他補足)

教科書に代えて各講義で使用する資料を配布する。

参考書

書名 著者 出版社 ISBNコード 備考
Mycrosystem Design S.D.Senturia Kluwer Academic Publishers 0792372468
RF MEMS Theory, Design, and Technology G.M.Rebeiz Wiley 0-471-20169-3

参考書(使用頻度、その他補足)

参考になるwwwページ

授業内外における学生・教員間のコミュニケーションの方法

その他(教員より別途指示）

備考


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URL:https://secure.ritsumei.ac.jp/students/pathways-future/course/curriculum.html/