| Course Name | Year | Term | Period | Faculty / Graduate School | All Instructors | Credits |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 34175:Micro Electro Mechanical Systems (5X) | 2024 | Spring | Mon5 | College of Science and Engineering | SUZUKI KENICHIRO | 2 |
Campus
Class Venue
Language
Course Outline and Method
授業は、各テーマごとに配布したレジメに沿って進行する。また、適宜に関連技術の紹介を行う。毎回のテーマについて受講生が積極的に調査することを期待する。
今年度はレジメ資料をwebに掲示する。学生にはレポート課題の提出が複数回要求されるので、期限内に提出するように注意してください。
講義は基本的に対面授業の形態にて行う。WEB授業に変更になった場合には，適宜，manaba+Rにて周知する。授業内容の理解を円滑に繋げるために授業には継続して出席することを推奨する。
Student Attainment Objectives
マイクロシステムの具体的事例の基礎を理解するには、今まで大学で学んだほぼすべての知識を網羅することが必要である。技術の基礎が理解できるようになるとその将来の発展を予想できるようになり，これがやがて時代や社会に対するいっそう深い理解へとつながっていく。
この経験が各々学生諸君の卒業後の活動に役立つことを期待する。特に、今後発展させるべき技術や研究開発すべき課題について自らの考えを形成できる事を目標とする．
Recommended Preparatory Course
必須ではありませんが、特にセンサ工学は重要です。
Course Schedule
| Lecture/Instructor（When there are multiple instructors) | Theme |
|---|---|
| Keyword, References and Supplementary Information | |
| 1 | ガイダンス（基本は対面授業） |
対面授業を基本とする．WEBに変更になる場合には掲示板にて知らせる．
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| 2 | 加速度センサ(1) |
MEMS加工技術、シリコン材料力学 |
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| 3 | 加速度センサ(2) |
容量検出回路、分解能、ノイズ |
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| 4 | 振動工学の基礎 |
共振現象、フーリエ解析 |
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| 5 | MEMSジャイロスコープ(1) |
二次元振動モデル、コリオリ力 |
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| 6 | MEMSジャイロスコープ(2) |
クロスカップリング、ダンピング |
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| 7 | MEMS共振器(1) |
MEMS作製方法 |
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| 8 | MEMS共振器(2) |
BVDモデル、峡ギャップ効果 |
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| 9 | 高周波工学の基礎(1) |
交流回路理論、フェーズ表示 |
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| 10 | 高周波工学の基礎(2) |
分布定数回路、反射係数 |
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| 11 | 高周波工学の基礎(3) |
Sパラメータ |
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| 12 | MEMSスイッチ |
プルイン電圧、リリース電圧 |
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| 13 | MEMSフィルタ |
ローパスフィルタ、表面張力 |
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| 14 | MEMSアンテナ(1) |
フェイズドアレイアンテナ、ミリ波レーダ |
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| 15 | MEMSアンテナ(2) |
移相器、車載用自動運転システム 、未来技術 |
Class Format
Recommendations for Private Study
Grade Evaluation Method
| Kind | Percentage | Grading Criteria etc. |
|---|---|---|
| Final Examination (Written) | 0 | |
| Report Examination (A report to be submitted by the unified deadline) |
0 | |
| Exams and/or Reports other than those stated above, and Continuous Assessment (Evaluation of Everyday Performance in Class) |
100 | 授業出席，およびレポート課題を中心に評価する。 |
Grade Evaluation Method （Note）
授業出席については，感染状況を考慮して変更する場合には，適宜掲示板等で注意する．また，正当な理由があって出席できないときには，鈴木(ksuzuki@se.ritsumei.ac.jp)まで直接に連絡をいただければ，内容により考慮する場合がある．
Advice to Students on Study and Research Methods
今年度はウェブにレポート課題が適宜掲示される。学生は期限内にこれらレポート課題を提出することが要求される。
Textbooks
Textbooks （Frequency of Use, Note）
Reference Books
| Title | Author | Publisher | ISBN Code | Comment |
|---|---|---|---|---|
| Mycrosystem Design | S.D.Senturia | Kluwer Academic Publishers | 0792372468 | |
| RF MEMS Theory, Design, and Technology | G.M.Rebeiz | Wiley | 0-471-20169-3 |
Reference Books （Frequency of Use, Note）
Web Pages for Reference
How to Communicate with the Instructor In and Out of Class(Including Instructor Contact Information)
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